詳細(xì)摘要： 納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)VS1800應(yīng)用光干涉現(xiàn)象，對(duì)微細(xì)的表面形貌進(jìn)行測(cè)量，可實(shí)現(xiàn)高性能薄膜、半導(dǎo)體、汽車(chē)零配件、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測(cè)量。而且還能...